日前，2021年上海市工人先鋒號揭曉，寶山的不少集體都榜上有名，費勉儀器科技（上海）有限公司的研發(fā)團隊就是其中之一，這支成立于2015年，成員平均年齡僅30歲的年輕團隊，在短短幾年時間里，已實現(xiàn)多項關鍵技術的難點突破。

費勉儀器致力于為全球學術及研究機構、國家重大項目和高端產業(yè)提供精密儀器裝置和整體解決方案。

目前，費勉儀器科技（上海）有限公司的研發(fā)團隊已在真空技術、低溫技術、薄膜制備和等離子技術四大方向上都取得了可喜的成果，其中自主研發(fā)的射頻聚焦等離子技術，多個指標也遠超過國際同類產品，在填補國內空白的同時，還實現(xiàn)了反向出口。

現(xiàn)在研發(fā)團隊累計已申請專利130余項，授權40余項。這也讓團隊的成員們越挫越勇，在這個大家庭中共同進步。

公司研發(fā)團隊負責人是80后的公司首席技術官謝斌平博士，他個人曾榮獲2014年上海自然科學一等獎，2015年國家自然科學二等獎， 2018年入選上海市青年拔尖人才計劃，2021被評為“寶山工匠”。在他的帶領下，團隊完成了多項研發(fā)任務，在多個技術上取得突破。“我們做的無論是一些科學設備也好，或者一些半導體項目，一些卡脖子的項目，因為做得這個事情比較重要，所以說讓大家覺得做的事情很重要，然后有難度，所以現(xiàn)在這年輕人就比較容易去挑戰(zhàn)。”

費勉儀器科技（上海）有限公司研發(fā)人員說：“我們現(xiàn)在做可以說是從零開始，有很多需要自己先研發(fā)，有壓力，但給我們的動力也很強，因為我們做出成果也可以看得到，很多實際的成果運用起來，在客戶那邊反饋很好，所以說壓力和動力是并存的。”

如果說基礎科研儀器的研發(fā)是為明天做準備，而工業(yè)半導體“卡脖子”儀器設備的開發(fā)就是為了現(xiàn)在。

基于公司在科研儀器研發(fā)中形成的自有成熟技術，費勉儀器自2020年開始了工業(yè)半導體裝備的研發(fā)，2020年底已向某半導體龍頭企業(yè)交付了國內首套超高真空解理鍍膜裝置，目前，研發(fā)團隊又在攻克半導體新的制造技術，以突破對國內高功率芯片用外延生長設備的封鎖。

費勉儀器科技（上海）有限公司研發(fā)團隊負責人說：“我們的目標就是兩到三年，做到以美國為首的國家對我們禁運的這些設備，我們可以做到國產替代，三到五年，我們甚至可以做得比他們更好。”

今后，費勉儀器科技（上海）有限公司的研發(fā)團隊將以做強民族高端儀器為己任,潛心研發(fā)，在自主創(chuàng)新道路上強力推進，力爭在更多的瓶頸技術上實現(xiàn)突破。

（來源：上海寶山）

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